SMAL（超解像マイクロスフェア増幅レンズ）技術は、非接触・非破壊で半導体チップ・シリコンウェハの製造での品質検査に使用できます。

SMALは白色光を使用するため、ナノスケール画像をフルカラーで表示します。Nanoro 超解像度ナノスキャニング光学顕微鏡は、走査型電子顕微（SEM）や原子力顕微鏡（AFM）では実行できない検査にも使用できます。高品質の検査=より良い品質管理=コスト削減と製造効率へつながります。

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